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◆运用高对比度，实时SEM观察和加工终点检测功能，可制备厚度小于20nm的超薄样品FIB加工时的实时SEM观察＊2例样品：NAND闪存加速电压：1kVFOV：0.6µm◆加工方向控制技术（Micro-sampl
